2025灣芯展今日開幕：芯上微裝攜封裝光刻機(jī)首秀 拓荊、滬硅等龍頭曬出硬核技術(shù)

　　《科創(chuàng)板日報》10月15日訊 2025灣區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)博覽會（簡稱“2025灣芯展”）今日（10月15日）開幕。在展會現(xiàn)場，備受市場關(guān)注的新凱來旗下多家子公司攜新品亮相，受到現(xiàn)場觀眾追捧。

　　在2025灣芯展現(xiàn)場，新凱來展臺工作人員向《科創(chuàng)板日報》記者表示，此次并無新品展出。展區(qū)內(nèi)依然是此前出圈的十六款以中國名山命名的設(shè)備，包括刻蝕、薄膜、量檢測設(shè)備等。

　　在聚光燈的焦點之外，今年的灣芯展上行業(yè)龍頭眾多，涉及設(shè)備及零部件、晶圓制造、半導(dǎo)體材料、顯示終端等眾多產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)，其中不少是第一次參加灣芯展，且不少公司誠意十足，展臺不乏亮點或特色。

　　與今年灣芯展上新凱來展區(qū)僅一條過道之隔，是一家名為上海芯上微裝科技股份有限公司（下稱“芯上微裝”）的展區(qū)。對比新凱來的“眾星拱月”，芯上微裝展區(qū)看似觀眾寥寥，但《科創(chuàng)板日報》記者關(guān)注到，實際上這家公司“來頭不小”。

　　芯上微裝成立于今年2月，至今不到8個月。據(jù)其展臺工作人員介紹，該公司核心人員及技術(shù)資產(chǎn)來自上海微電子集團(tuán)，今年分拆后單獨成立公司，業(yè)務(wù)定位能夠快速實現(xiàn)市場化的設(shè)備，而上海微則將專注前道核心設(shè)備開發(fā)。

　　目前芯上微裝大股東為員工持股，持股占比約為24%。其工商資料顯示，該公司股東還包括了上海信投、張江浩成、中信金石、高新投資、浦東科創(chuàng)集團(tuán)、余姚戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)母基金等國資背景機(jī)構(gòu)。

　　芯上微裝在今年的灣芯展上，主要以宣傳資料形式，展示其新型化合物半導(dǎo)體光刻機(jī)、激光退火設(shè)備、晶圓先進(jìn)封裝量檢測設(shè)備、晶圓先進(jìn)封裝光刻機(jī)以及鍵合設(shè)備方案。以晶圓先進(jìn)封裝光刻機(jī)為例，據(jù)稱可主要應(yīng)用于人工智能及先進(jìn)智能終端等各種高端芯片封裝領(lǐng)域，具備高分辨率、超大曝光視場和支持大翹曲襯底等特點，可滿足Flip Chip、Fan-in、Fan-out WLP/PLP和2.5D/3D集成等各種晶圓級/基板級先進(jìn)封裝的光刻工藝需求。

　　圖：芯上微裝展示的晶圓先進(jìn)封裝光刻機(jī)

　　芯上微裝工作人員表示，目前公司設(shè)備產(chǎn)品已經(jīng)導(dǎo)入國內(nèi)幾乎所有主流的封測廠商，“公司相關(guān)業(yè)務(wù)之前在上海微期間就已經(jīng)有了多年的積累，市場份額不小”。

　　北方華創(chuàng)在今年宣布完成對芯源微的并購后，今年灣芯展上，芯源微以北方華創(chuàng)集團(tuán)旗下公司身份，在北方華創(chuàng)展臺展出其8-12英寸集成電路前道涂膠顯影、化學(xué)清洗設(shè)備及工藝解決方案，以及先進(jìn)封裝與化合物領(lǐng)域6-12英寸設(shè)備工藝。

　　拓荊科技在灣芯展上，展出其晶圓對晶圓混合鍵合設(shè)備，以及12英寸等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備等產(chǎn)品，對應(yīng)了該公司近年在薄膜沉積設(shè)備、三維集成設(shè)備兩大產(chǎn)品主線上的發(fā)展。

　　圖：拓荊科技展出晶圓對晶圓混合鍵合設(shè)備

　　據(jù)了解，晶圓對晶圓混合鍵合設(shè)備主要應(yīng)用于三維存儲芯片和背照式圖像傳感器制造等領(lǐng)域，拓荊科技目前已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，向下游客戶進(jìn)行驗證，已出貨至先進(jìn)存儲、邏輯、圖像傳感器等客戶，未來將持續(xù)出貨并擴(kuò)大量產(chǎn)規(guī)模。

　　富創(chuàng)精密在灣芯展展臺上，展出了公司出貨量較高的勻氣盤和加熱盤兩款產(chǎn)品，以及納米薄膜技術(shù)、靜電吸盤、ALD設(shè)備集成閥組、氣體傳輸零部件等。

　　據(jù)介紹，作為半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件，勻氣盤和加熱盤兩款產(chǎn)品主要用于薄膜沉積環(huán)節(jié)，且作為耗損品，通常兩年時間左右，設(shè)備廠商客戶就需要對相關(guān)零部件換新。

　　在性能上，富創(chuàng)精密加熱盤在溫度均勻性指標(biāo)可做到±0.5%以內(nèi)，均溫可以做到2.45度，不輸海外龍頭同類產(chǎn)品。

　　勻氣盤產(chǎn)品方面，目前富創(chuàng)精密已經(jīng)量產(chǎn)超過300余款，產(chǎn)品線全面覆蓋四階直孔、螺旋斜孔、內(nèi)腔式交叉孔焊接技術(shù)，以及加熱絲類焊接和四層一體式焊接等多氣路水路解決方案，同時采用了化鎳、特種陶瓷噴涂、納米涂層等技術(shù)。

　　半導(dǎo)體硅片材料商滬硅產(chǎn)業(yè)，灣芯展展示了其全方位、一站式硅材料服務(wù)能力。通過自我創(chuàng)新和對外合作并購，滬硅產(chǎn)業(yè)在產(chǎn)品體系與按需定制能力方面，與其他行業(yè)競爭對手形成差異化。

　　圖：滬硅產(chǎn)業(yè)灣芯展展臺

　　據(jù)介紹，該公司目前產(chǎn)品尺寸覆蓋12英寸、8英寸及以下；產(chǎn)品類型覆蓋拋光片、SOI片、外延片；產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋邏輯、功率、存儲及圖像傳感芯片等。

　　目前滬硅產(chǎn)業(yè)子公司新傲科技和Okmetic 200mm及以下SOI硅片合計產(chǎn)能超6.5萬片/月。新傲科技和海外子公司Okmetic 200mm及以下拋光片、外延片合計產(chǎn)能超過50萬片/月。

　　滬硅產(chǎn)業(yè)已公布的產(chǎn)能規(guī)劃將達(dá)到120萬片/月。今年上半年，滬硅產(chǎn)業(yè)集成電路用300mm硅片產(chǎn)能升級太原項目持續(xù)建設(shè)，上海及太原兩地300mm半導(dǎo)體硅片合計產(chǎn)能已達(dá)到75萬片/月，規(guī)模位居國內(nèi)第一梯隊。

　　國內(nèi)另一家半導(dǎo)體硅片龍頭中欣晶圓，直接將未切割的半導(dǎo)體級硅單晶棒，擺在了灣芯展現(xiàn)場。據(jù)其展臺工作人員介紹，硅單晶棒重420公斤，長度約為2.3米，切割后出片率在2000片左右，硅片良率做到了85%左右。

　　目前中欣晶圓規(guī)劃產(chǎn)能到今年年底約45萬片/月，各生產(chǎn)流程位于銀川、杭州、上海、麗水四地。其中最新規(guī)劃建設(shè)的麗水二廠，集合了從拉晶、切磨到外延的全流程，并且采用了全自動化的產(chǎn)線。

　　華潤微在灣芯展期間，重點展示了該公司位于華南市場的華潤微電子深圳12英寸晶圓生產(chǎn)項目，該項目屬于深圳市重大項目，由潤鵬半導(dǎo)體公司承建。

　　據(jù)展臺現(xiàn)場工作人員表示，目前該項目已在2024年底通線，華潤微深圳項目一期總投資達(dá)220億元，主要覆蓋40、55、90納米工藝節(jié)點，以及MCU、射頻芯片、電源芯片、顯示驅(qū)動四類產(chǎn)品，將能夠廣泛用于新能源、智能終端、消費電子、汽車電子等終端市場。

　　在華虹集團(tuán)的展臺上，展出了上海華力的12英寸晶圓。據(jù)介紹，使用其28納米高效能精簡型工藝，可用于藍(lán)牙芯片、電視時序控制器、Wi-Fi芯片、邏輯圖像處理芯片等產(chǎn)品。

　　今年是華虹半導(dǎo)體首次來灣芯展參展。其展臺華虹宏力的工作人員向《科創(chuàng)板日報》記者表示，今年他們代表集團(tuán)參展的展位只是一個標(biāo)攤，并沒有像一些其他公司展位一樣進(jìn)行精裝?！敖衲晡覀兊闹饕康氖钦{(diào)研一下灣芯展的實際情況，參展工作人員主要以市場宣傳推廣為主，沒有帶銷售團(tuán)隊一起過來。反饋不錯的話，明年考慮繼續(xù)加大對灣芯展的支持和投入”。

　　除了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈各環(huán)節(jié)產(chǎn)品工藝的集中展示，在今年的灣芯展，下游終端廠商及其產(chǎn)品也為盛會增添亮點。

　　光峰科技兩款旗艦LCoS AR光機(jī)——蜻蜓G1和彩虹C1，在今年的灣芯展期間展出，吸引了不少觀眾的關(guān)注。其中蜻蜓G1光機(jī)采用“單光機(jī)驅(qū)動雙目顯示”為核心架構(gòu)，通過特殊的光學(xué)設(shè)計，可將光機(jī)輸入的光獨立輸送到眼鏡的左右目鏡片，最后實現(xiàn)雙目獨立顯示。

　　據(jù)介紹，顯示效果上，蜻蜓G1光機(jī)采用的LCoS模組的單目分辨率為640x200，可清晰呈現(xiàn)細(xì)膩畫面細(xì)節(jié)；視場角（FOV）約25°且支持定制化調(diào)整，滿足不同場景下的視野需求；虛像距約為5m。

　　光峰科技于今年9月29日在互動平臺上表示，截至目前，該公司積極拓展國內(nèi)外核心AR眼鏡品牌廠商，完成了與國內(nèi)外一流主流AR眼鏡C端品牌客戶的光機(jī)對接。

（文章來源：科創(chuàng)板日報）

(原標(biāo)題：2025灣芯展今日開幕：芯上微裝攜封裝光刻機(jī)首秀 拓荊、滬硅等龍頭曬出硬核技術(shù))

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