對話科創(chuàng)家|中科芯微荊曉南：以好產(chǎn)品解決國產(chǎn)半導(dǎo)體機器人“卡脖子”問題

　　半導(dǎo)體機器人（Semiconductor Wafer Transfer Robots），是半導(dǎo)體設(shè)備中的重要組成部分，負責在半導(dǎo)體芯片制造廠的潔凈環(huán)境中精準地搬送和定位半導(dǎo)體晶圓。

　　半導(dǎo)體機器人通常應(yīng)用在刻蝕、PVD、CVD、清洗、去膠等芯片加工工藝步驟中，是芯片制造領(lǐng)域中不可或缺的核心零部件之一。

　　之前，由于國內(nèi)該行業(yè)起步晚、專業(yè)人才培養(yǎng)斷檔等原因，國內(nèi)半導(dǎo)體機器人市場被國外廠商牢牢占據(jù)。

　　作為國內(nèi)少數(shù)自主研發(fā)設(shè)計并生產(chǎn)半導(dǎo)體機器人的公司之一，中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司，以其自主研發(fā)設(shè)計生產(chǎn)的真空系列、大氣系列半導(dǎo)體機器人逐步打破目前國內(nèi)半導(dǎo)體機器人被國外廠商“卡脖子”僵局。

　　“產(chǎn)品好才是真的好，一切靠產(chǎn)品說話！”中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司副總經(jīng)理荊曉南在描述企業(yè)被業(yè)界看好的根本所在時說到。

　　問：請簡要介紹一下中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司的創(chuàng)立背景和發(fā)展歷程。

　　答：中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司是素珀電子科技（上海）有限公司的全資子公司。母公司素珀電子科技（上海）有限公司2013年成立于上海。中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司成立于2020年，主要是做半導(dǎo)體機器人的新品業(yè)務(wù)。

　　上海母公司初創(chuàng)時是做半導(dǎo)體機器人維修的相關(guān)業(yè)務(wù)，至今維修業(yè)務(wù)也一直在進行，期間維修了多種國外品牌的半導(dǎo)體機器人，積攢了豐富經(jīng)驗及機器人核心關(guān)鍵技術(shù)。于是我們于2020年在沈陽選址建立半導(dǎo)體機器人研發(fā)生產(chǎn)基地，現(xiàn)在我們所處的沈陽公司做的都是新品業(yè)務(wù)。

　　我們在2020年注冊成立中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司。2021年開始陸陸續(xù)續(xù)有訂單，近5年來前后實現(xiàn)小批量、批量交付半導(dǎo)體機器人產(chǎn)品到半導(dǎo)體設(shè)備客戶，部分產(chǎn)品也隨著客戶的設(shè)備在終端Fab廠投入使用。到2025年公司被國家大基金領(lǐng)投和行業(yè)龍頭跟投，充分體現(xiàn)了行業(yè)內(nèi)對公司及公司產(chǎn)品的認可，有了行業(yè)龍頭的支持及背書，為我們帶來了 “技術(shù)協(xié)同” 和 “市場聯(lián)動” 的機會，在未來公司產(chǎn)品技術(shù)迭代、市場開拓將進入到一個嶄新的局面，帶動國產(chǎn)半導(dǎo)體機器人市占率進一步提高。

　　問：那當初為什么會選擇將公司落址沈陽呢？

　　答：首先，沈陽本身有自動化、半導(dǎo)體相關(guān)人才優(yōu)勢。沈陽有沈陽自動化研究所以及眾多高校，半導(dǎo)體行業(yè)在沈陽又有產(chǎn)業(yè)聚集效應(yīng)，很適合我們這類半導(dǎo)體智能裝備科技公司在此創(chuàng)業(yè)發(fā)展。

　　另一個原因就是對于剛起步的企業(yè)來說，資金也有限，那時候公司也沒有融資。沈陽無論是人員的成本、場地的費用都相對較低，對于初創(chuàng)時的公司資金壓力不是太大。

　　第三，因為我們公司董事長朱玉東先生本身就是沈陽人，雖然人在上海打拼20多年，但他一直心系家鄉(xiāng)，時刻惦記著要為家鄉(xiāng)發(fā)展盡自己的綿薄之力，回沈投資建廠也是這種情懷的充分體現(xiàn)。

　　問：中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司在國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中的核心定位是什么？

　　答：我們做半導(dǎo)體機器人，機器人賣給半導(dǎo)體設(shè)備廠商，設(shè)備廠商再把我們的機器人集成到他們的芯片生產(chǎn)設(shè)備里，整體提供給制作芯片的生產(chǎn)工廠。

　　在半導(dǎo)體機器人這個賽道上的國內(nèi)企業(yè)有，但不多。如果能把半導(dǎo)體機器人全系列的真空類、大氣類半導(dǎo)體機器人產(chǎn)品做全的公司，更是少之又少，中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司就是其中之一。

　　問：公司目前發(fā)展方向？

　　答：在產(chǎn)品上，我們公司對標布魯克斯自動化公司（Brooks Automation）產(chǎn)品，要超越這個美國行業(yè)龍頭，解決被“卡脖子”的隱患。

　　在生產(chǎn)投入上，公司將盡快建設(shè)未來新廠區(qū)。規(guī)劃建設(shè)多條自動化智能生產(chǎn)線，把生產(chǎn)效率進一步提高，來實現(xiàn)未來的產(chǎn)能釋放。

　　問：公司的核心管理團隊和專業(yè)設(shè)計研發(fā)團隊的構(gòu)成情況如何？

　　答：目前公司共有300多名員工，核心管理團隊成員40余人。截止到目前，公司研發(fā)設(shè)計人員近百人，加上生產(chǎn)技術(shù)等相關(guān)技術(shù)崗位員工，我們技術(shù)相關(guān)的人員將近公司員工總數(shù)的50%。

　　問：公司目前共有多少項技術(shù)專利？

　　答：目前公司專利上百件。

　　問：公司如何確保專利技術(shù)創(chuàng)新的持續(xù)性和領(lǐng)先性？

　　答：我們現(xiàn)在的研發(fā)持續(xù)性得益于客戶不斷提出來的實實在在應(yīng)用需求。行業(yè)客戶提出的需求再結(jié)合我們自身的專業(yè)經(jīng)驗積累，可以確保我們再技術(shù)創(chuàng)新上持續(xù)輸出。產(chǎn)品研發(fā)部門與市場部門會定期組織會議，將市場需求與專利申報規(guī)劃相融合，從而確保專利申請不僅保護技術(shù)，同時也支撐公司的市場目標。另外公司會進一步加大研發(fā)的投入，培養(yǎng)引進技術(shù)人才，建立創(chuàng)新獎勵體制，將創(chuàng)新理念融入公司文化，將創(chuàng)新轉(zhuǎn)化為我們公司的組織習慣，企業(yè)時刻不忘持續(xù)將產(chǎn)品迭代升級，實現(xiàn)產(chǎn)品功能提升、成本降低，始終保證產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)的領(lǐng)先性。

　　問：目前公司研發(fā)及生產(chǎn)的產(chǎn)品種類有多少？

　　答：目前公司研發(fā)及生產(chǎn)的產(chǎn)品已到達四十多個品類，超百種型號。我們大部分新品推出都有對應(yīng)的訂單，結(jié)合客戶實際需求研發(fā)生產(chǎn)出來的產(chǎn)品才有意義。

　　問：這些由中科芯微研發(fā)生產(chǎn)出的半導(dǎo)體機器人將會應(yīng)用在哪些場景？

　　答：我們產(chǎn)品主要應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，通常在刻蝕、PVD、CVD、清洗、去膠等芯片制造工藝設(shè)備中都能看到我們產(chǎn)品在高效、精準、穩(wěn)定地運行。

　　問：今年中科芯微半導(dǎo)體機器人研發(fā)生產(chǎn)基地項目開工建設(shè)，在項目竣工投產(chǎn)后，對區(qū)域發(fā)展將會有哪些具體貢獻？

　　答：中科芯微半導(dǎo)體機器人研發(fā)生產(chǎn)基地項目竣工投產(chǎn)后，將直接推動遼寧省半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈進一步升級，提升區(qū)域半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)競爭力，公司預(yù)計年產(chǎn)機器人3000臺以上，產(chǎn)值將超10億元，并帶動相關(guān)配套企業(yè)發(fā)展，形成產(chǎn)業(yè)集群效應(yīng)。

　　問：在您看來，目前半導(dǎo)體機器人的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的行業(yè)發(fā)展趨勢是怎樣的？

　　答：近些年半導(dǎo)體機器人的自主研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化正在快速發(fā)展，因為它是解決半導(dǎo)體制造“卡脖子”問題、提升產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，所以也得到國家足夠的重視與政策上的支持。目前行業(yè)整體呈現(xiàn)出國內(nèi)半導(dǎo)體機器人第一梯隊企業(yè)技術(shù)突破正在加速，產(chǎn)品功能及穩(wěn)定性進一步提升，國產(chǎn)替代機臺數(shù)量迅速增加。

　　問：今年上半年，公司完成了新一輪融資，并獲得國家大基金和行業(yè)龍頭跟投，這對企業(yè)發(fā)展起到了怎樣的作用？

　　答：國家大基金領(lǐng)投和行業(yè)龍頭跟投，體現(xiàn)了行業(yè)內(nèi)對公司及公司產(chǎn)品的認可，有了行業(yè)龍頭的背書，給未來公司市場開拓帶來更多的機會，公司未來3-5年的營收將大幅度提升，同時帶動國產(chǎn)半導(dǎo)體機器人市占率進一步提高。

　　問：在融資后，公司的主要需求與任務(wù)是什么？

　　答：加大研發(fā)投入，把產(chǎn)品做好。一切都是看產(chǎn)品，好產(chǎn)品是企業(yè)的命脈。當中科芯微所有系列類型的半導(dǎo)體機器人都能比肩、超越國外機器人龍頭公司同類產(chǎn)品時，公司不騰飛都難。

　　問：您在機器人及智能裝備領(lǐng)域從業(yè)20年，您走到今天的感受是如何呢？

　　答：我感覺非常榮幸也非常幸運能夠投身到這個領(lǐng)域，就是人逢其時，正好趕上行業(yè)發(fā)展的窗口期。國家在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域遇到了“卡脖子”問題，就需要國內(nèi)有企業(yè)能夠站出來解決這些問題，提升國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控能力?！翱ú弊印眴栴}被解決的同時企業(yè)自身發(fā)展也迎來了新機遇，這種責任與挑戰(zhàn)對中科芯微人來說都是責無旁貸的！

（文章來源：科創(chuàng)板日報）

(原標題：對話科創(chuàng)家|中科芯微荊曉南：以好產(chǎn)品解決國產(chǎn)半導(dǎo)體機器人“卡脖子”問題)

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